紫外线臭氧清洗
Samco的紫外线臭氧清洗机采用紫外线照射、臭氧和阶段性加热的独特组合,温和而有效地去除各种基板上的有机材料,包括硅、玻璃、化合物半导体(GaN、SiC、GaAs和InP)、蓝宝石、陶瓷等。今天,我们的产品线包括紧凑型台式和盒式系统,适用于研发和量产客户。
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紫外线臭氧清洗机 UV-1
紧凑型台式设备
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紫外线臭氧清洗机 UV-300H
灰化率>200 nm/min
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盒式装载紫外线臭氧清洗设备 UV-300HC
盒式装载紫外线臭氧清洗设备