等离子清洗
Samco的等离子清洗机是一种平行板系统,用于清洗样品表面的有机和无机污染。工艺室允许用户安装多个电极架,架子电极配置的灵活性支持从研究到大批量生产的各种产品的批量处理。
-
等离子清洗设备 PC-1100
用于大尺寸基板
-
等离子清洗设备 PC-300
紧凑耐用的设备
紫外线臭氧清洗
Samco的紫外线臭氧清洗机采用紫外线照射、臭氧和阶段性加热的独特组合,温和而有效地去除各种基板上的有机材料,包括硅、玻璃、化合物半导体(GaN、SiC、GaAs和InP)、蓝宝石、陶瓷等。今天,我们的产品线包括紧凑型台式和盒式系统,适用于研发和量产客户。
-
紫外线臭氧清洗机 UV-1
紧凑型台式设备
-
紫外线臭氧清洗机 UV-300H
灰化率>200 nm/min
-
盒式装载紫外线臭氧清洗设备 UV-300HC
盒式装载紫外线臭氧清洗设备